±¹°¡ÇÙÀ¶ÇÕ¿¬±¸¼Ò(¼ÒÀå À¯¼®Àç) ÇöóÁ±â¼ú¿¬±¸¼¾ÅÍ(±º»ê½Ã ¿À½Äµµµ¿ ¼ÒÀç)´Â Áö¿ª R&D ¹ßÀü ¹× ±â¾÷Áö¿ø È°µ¿ÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î ¡®ºÐ¼®Àåºñ °øµ¿È°¿ë ¼ºñ½º¡¯¸¦ ¿î¿µÇÑ´Ù.
±¹³» À¯ÀÏÀÇ Á¤ºÎ Ã⿬ ÇöóÁ Àü¹®¿¬±¸±â°üÀÎ ÇöóÁ±â¼ú¿¬±¸¼¾ÅÍ´Â ÇöóÁ ±â¼ú°ú °ü·ÃµÈ ¾Ö·Î±â¼ú ÇØ°á, »ê¡¤ÇС¤¿¬ °øµ¿¿¬±¸°ú ±â¼úÀÌÀü µî ±â¾÷ ±â¼ú»ç¾÷È ¹× Áö¿ªÀÇ °úÇÐ ¿ª·® °È¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇöóÁ±â¼ú¿¬±¸¼¾ÅÍ´Â ÃàÀûµÈ ¿¬±¸ ³ëÇÏ¿ì¿Í ÀÎÇÁ¶ó¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ºÐ¼® Àåºñ °øµ¿È°¿ë ¼ºñ½º Áö¿øÀ» ÅëÇØ Áß¼Ò±â¾÷ÀÇ ¿¬±¸±â¹Ý °È ¹× ±â¼ú°æÀï·Â Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇöóÁ±â¼ú¿¬±¸¼¾ÅÍ¿¡¼ °øµ¿È°¿ë ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Â Àåºñ´Â ÃÑ 9°³ÀÌ´Ù.
(¿¤¸³¼Ò¹ÌÅÍ(Elipsometer), ÀÚ¿Ü-°¡½Ã¼± ºÐ±¤ºÐ¼®ÀåÄ¡(UV-VIS NIR Spectrophotometer), ¿¡³ÊÁö ºÐ»ê ºÐ±¤±â¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ Àü°è¹æÃâÇü ÀüÀÚÇö¹Ì°æ(FE-SEM), ¿øÀÚ Çö¹Ì°æ(AFM), Ç»¸®¿¡ º¯È¯ Àû¿Ü¼± ºÐ±¤±â(FT-IR), ¶ó¸¸½ºÆåÆ®·Î½ºÄÚÇÇ(Raman Spectroscopy), ¾ËÆĽºÅÜ IQ(Alpha Step IQ), Åõ½Àµµ ÃøÁ¤ÀåÄ¡(Water Vapor Transmission Rate Tester), ºñÁ¢ÃË 3Â÷¿ø ¹Ì¼¼Çü»ó ÃøÁ¤±â(Nano Surface Profiler)) µîÀ» °øµ¿È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ ±º»ê½Ã ¼ÒÀç ±â¾÷ü¿¡¼ Àåºñ ÀÌ¿ë ½Ã ÀÌ¿ë·áÀÇ 50% °¨¸é ÇýÅÃÀ» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ¿¬°èÇØ ÀüºÏÅ×Å©³ëÆÄÅ©¿¡¼ ÁÖ°üÇÏ´Â Àü¶óºÏµµ °øµ¿È°¿ë ¿¬±¸°³¹ß Àåºñ ÀÌ¿ëÁö¿ø »ç¾÷ È°¿ë ½Ã Àåºñ ÀÌ¿ë·áÀÇ ÃÖ´ë 70%±îÁö Áö¿ø¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.
¼ºñ½º ½Åû ¹× ÀÌ¿ë¿¡ ´ëÇÑ ¹®ÀÇ´Â ¼¾ÅÍ È¨ÆäÀÌÁö(www.plasma.re.kr)¸¦ ¹æ¹®Çϰųª ÀüÈ(¢Ï063-440-4009)·Î °¡´ÉÇÏ´Ù.